صنعت الکترونیک و نیمه‌هادی (Electronics & Semiconductor)

صنعت الکترونیک و نیمه‌هادی، مرز تکنولوژی و دقت است. در تولید ویفرها، چیپ‌های حافظه، بردهای مدار چاپی (PCB) و سیستم‌های میکرو الکترومکانیکی (MEMS)، مفهوم "تمیزی" معنای متفاوتی دارد. اینجا صحبت از حذف ذرات قابل دیدن نیست، بلکه مبارزه با ذرات زیر میکرون و حتی یون‌های محلول است که می‌توانند یک مدار چاپی پیچیده یا یک پردازنده گران‌قیمت را به ضایعات تبدیل کنند.

فن‌پاد (FANPOD) با درک الزامات اتاق‌های تمیز (Cleanrooms) و استانداردهای سخت‌گیرانه ITRS، تجهیزاتی را ارائه می‌دهد که ضامن خلوص فرآیند هستند. از مخازن ذخیره الکتروپولیش شده برای آب فوق خالص (UPW) گرفته تا فیلترهای نهایی برای مواد شیمیایی خورنده (Etchants)، هدف ما به صفر رساندن نرخ خرابی (Defect Density) و افزایش بازده تولید (Yield) است.

در فرآیندهای لیتوگرافی، لایه‌نشانی و اچینگ (Etching)، هر ذره غبار یا آلودگی فلزی مانند یک "قاتل خاموش" عمل می‌کند. این آلودگی‌ها می‌توانند باعث اتصال کوتاه در مدارها، تغییر خواص الکتریکی و در نهایت شکست کل ویفر شوند.

ریسک‌های عدم فیلتراسیون دقیق:

• ⚠️ کاهش Yield تولید: افزایش درصد محصولات معیوب و هدررفت متریال گران‌قیمت سیلیکونی.
• ⚠️ خرابی مدارهای مینیاتوری: ذرات بزرگتر از عرض مسیرهای هادی (Conductive Lines) باعث قطعی مدار می‌شوند.
• ⚠️ آلودگی شیمیایی: ناخالصی‌ها در حلال‌ها و اسیدها واکنش‌های شیمیایی دقیق را مختل می‌کنند.
• ⚠️ توقف خطوط Wet Bench: گرفتگی نازل‌های پاشش و فیلترهای دستگاه‌های شستشو.

فیلتراسیون در این صنعت فقط "تمیز کردن" نیست؛ بلکه "خالص‌سازی مطلق" است. سیستم‌های ما برای حذف ذرات تا 0.1 میکرون و حتی پایین‌تر طراحی شده‌اند.

قلب سیستم‌های تصفیه در صنعت الکترونیک، فیلترهای کارتریجی با مدیای ممبرانی هستند. برای فرآیندهایی که نیاز به خلوص فوق‌العاده بالا (Ultra-High Purity) دارند، ما کارتریج‌هایی با تکنولوژی‌های پیشرفته ارائه می‌دهیم:

انواع فیلتر و کاربردها:

• فیلترهای PTFE (تفلون): برای فیلتراسیون اسیدهای قوی، بازها و حلال‌های شیمیایی خورنده (مانند HF یا اسید نیتریک). این فیلترها مقاومت شیمیایی مطلق دارند.
• فیلترهای PES (پلی‌اترسولفون): ایده‌آل برای فیلتراسیون نهایی آب فوق خالص (UPW) با دقت 0.1 و 0.05 میکرون برای حذف باکتری و اندوتوکسین.
• فیلترهای نایلون و PP: برای شفاف‌سازی فتورزیست‌ها (Photoresists) و حلال‌های آلی.

هوزینگ‌های این فیلترها از استنلس استیل 316L با پرداخت سطح الکتروپولیش (Ra < 0.2 µm) ساخته می‌شوند تا هیچ‌گونه یون فلزی یا ذره‌ای از بدنه فیلتر وارد جریان سیال نشود.

اگرچه تمرکز اصلی در الکترونیک بر روی ذرات غیرفلزی است، اما ذرات فلزی ناشی از سایش پمپ‌ها و لوله‌کشی می‌توانند فاجعه‌بار باشند. این ذرات رسانا بوده و می‌توانند باعث اتصال کوتاه مستقیم در PCB یا ویفر شوند.

کاربردهای کلیدی مگنت‌ها:

• حذف ذرات آهنی از دوغاب‌های پولیش (CMP Slurries) بدون حذف ذرات ساینده مورد نیاز.
• تصفیه خمیرهای لحیم‌کاری و فلاکس‌ها.
• محافظت از پمپ‌های دوزینگ حساس در برابر براده‌های فلزی ورودی.

فیلترهای مغناطیسی ما با شدت میدان بالا (High Gauss) طراحی شده و دارای پوشش‌های محافظ خاص هستند تا با مواد شیمیایی واکنش نداده و خلوص فرآیند را به خطر نیندازند.

در صنعت نیمه‌هادی، مخازن تنها یک ظرف نگهدارنده نیستند؛ بلکه بخشی از سیستم کنترل کیفیت هستند. مخازن فن‌پاد با بالاترین استانداردهای سطحی (Electropolished Ra < 0.2µm) ساخته می‌شوند تا از ایجاد بیوفیلم و تجمع ذرات جلوگیری کنند.

ویژگی‌های مخازن و راکتورهای ما:

• ذخیره مواد شیمیایی حساس (Solvents, Acids) با استفاده از متریال مقاوم در برابر خوردگی (316L, Hastelloy).
• راکتورهای میکسر دار برای آماده‌سازی دقیق محلول‌های شیمیایی و بافرها.
• سیستم‌های دوزینگ اتوماتیک برای تزریق دقیق مواد افزودنی.
• قابلیت پسیواسیون (Passivation) کامل سطوح برای حداکثر مقاومت شیمیایی.

ما مخازن را مجهز به فیلترهای ونت استریل (Vent Filters) می‌کنیم تا از ورود آلودگی هوای محیط به داخل مخزن در هنگام تخلیه جلوگیری شود.

در فرآیندهای نیمه‌رسانا، تکیه بر یک فیلتر کافی نیست. ما سیستم‌های چندمرحله‌ای (Multi-stage Filtration) را طراحی می‌کنیم تا عمر فیلترهای گران‌قیمت نهایی افزایش یابد و ریسک عبور ذرات به صفر برسد.

چیدمان پیشنهادی:

• پیش‌فیلتراسیون (Pre-filtration): استفاده از فیلترهای کارتریجی عمقی یا بگ فیلترهای دقیق برای حذف ذرات درشت‌تر.
• فیلتراسیون میانی: استفاده از مگنت‌ها یا فیلترهای رزینی برای حذف یون‌ها و ذرات فلزی.
• فیلتراسیون نهایی (Point-of-Use): فیلترهای ممبرانی 0.1 یا 0.05 میکرون دقیقاً در نقطه مصرف برای تضمین کیفیت لحظه‌ای.

این سیستم‌ها برای خطوط تولید آب UPW، بازیافت مواد شیمیایی و تصفیه پساب‌های صنعتی (Wastewater Treatment) ضروری هستند.

طراحی فوق دقیق

رعایت استانداردهای اتاق تمیز و استفاده از جوشکاری اوربیتال و سطوح الکتروپولیش.

سفارشی‌سازی کامل

طراحی سیستم‌ها بر اساس دبی، فشار و نوع مواد شیمیایی خاص خط تولید شما.

مستندات کامل

ارائه مدارک Validation، گواهی متریال و نقشه‌های P&ID مطابق با استانداردهای بین‌المللی.